功夫: 2025年3月10日（周一）上午10:00
地址: 校本部东区翔英大楼T516
讲座: 数字紫表光刻技术及其在微/纳米光子器件、传感器方面利用
演讲者: 张阿平，教授，香港理工大学
演讲者简介：
张阿平，香港理工大学教授，于1997年和2000年别离获得浙江大学（ZJU）理学学士和硕士学位，并于2003年获香港理工大学博士学位。他在浙江大学开启学术生涯，2005年提升为光学工程学科副教授。2006-2008年期间，他曾任纽约州立大学布法罗分校（UB）激光、光子学与生物光子学钻研所钻研学者，并于2011年担任加州大学圣地亚哥分校（UCSD）纳米工程系接见学者。2012年，他参与香港理工大学电机工程学系（现称电机及电子工程学系）任副教授，自2020年起提升为教授。参与理大后，他于2019/20学年获工程学院宣告"钻研及学术活动幼我优异奖"，并别离于2020年及2022年两度获得工程学院"钻研赞助成就奖"。钻研兴致蕴含先进微纳造备工艺及光子器件等。
讲座提要：
传统的纳米造作技术，如电子束（EB）或聚焦离子束（FIB）光刻，通常成本高昂且良品率较低。然而，新兴的光子/生物医学微器件必要矫捷高效的微纳加工技术，以实现对分歧资料的高效处置。本次汇报将沉点介绍香港理工大学本团队开发的先进光学微纳加工技术，蕴含数字紫表光刻、精密光还原技术及光学3D微打印，并展示其在职能器件、传感器及生物芯片开发中的利用。
约请人：通讯与信息工程学院 庞拂飞教授
欢迎宽大老师和学生参与！
